01387nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002200093245027600115300003200391545004700423545002800470545004300498545004300541545004700584653009600631700001900727700001400746700003600760700001400796700004800810773012800858900001500986900001501001900001501016900001401031900001601045KSI00014022620040206142952031210s2002    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a551.12b한537ㅅ00a정전기력 구동소자를 이용한 MEMS 소재의 탄성특성 및 미세파손특성 평가=xAssessment of elastic and microfailure properties of mems materials using electrostatically operated test device/d김동원,e이세호,e이낙규,e나경환,e권동일  ap. 575-580:b삽도;c26 cm  a김동원, 서울대학교 재료공학부  a이세호, 삼성전자  a이낙규, 한국생산기술연구원  a나경환, 한국생산기술연구원  a권동일, 서울대학교 재료공학부  aMEMSaElectrostaticaElastic modulusaYield strengthaFracture toughnessaCycles to failure1 a김동원4aut1 a이세호1 a이낙규,d1962-0KAC2016256791 a나경환1 a권동일,g權東一,d1957-0KAC2016373160 t塑性加工.d한국소성가공학회.g11권 7호(2002년 11월), p. 575-580q11:7<575w(011001)KSE199509025,x1225-696X10aKim, D. W.10aLee, S. H.10aLee, N. K.10aNa, K. H.10aKwon, D. I.