01199nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002700093245019000120300003000310545004700340545006300387545004700450653019200497700005300689700001400742700001400756773012100770900002000891900001700911900001700928KSI00013668520040115192209031209s1999    ggka          000   kor    a0110010 akorbeng01a551.905b윤918c15(1)00a화학기계적 연마 가공에서의 윤활 특성 해석=xAnalysis of the lubricational characteristics for chemical-mechanical polishing process/d박상신,e조철호,e안유민  ap. 90-97:b삽도;c26 cm  a박상신, 영남대학교 기계공학부  a조철호, 한양대학교 정밀기계공학과 대학원  a안유민, 한양대학교 기계공학과  a화학기계a연마가공aChemical-mechanicalaAnalysisaLubricationalaCharacteristicsaChemical mechanical polishingaProcessaSlurry pressureaNominal clearanceaRoll and pitch angle1 a박상신,g朴相信,d1967-0KAC2018306644aut1 a조철호1 a안유민0 t潤滑學會誌.d韓國潤滑學會.g15卷 1號(1999년 3월), p. 90-97q15:1<90w(011001)KSE199508701,x1229-484510aPark, Sang Shin10aCho, Chul Ho10aAhn, Yoo Min