01541nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002400093245025600117300002900373545012400402545006500526545005600591545006800647545005100715653004100766700005300807700003600860700003600896700004800932700001400980773012400994900002101118900001901139900001801158900002101176900001801197KSI00016299520040224190502031216s2002    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎ00aFVA 증착법에 의해 합성된 ta-C 박막의 구조 및 물성 제어=x(The)control of the structure and properties of tetrahedral amorphous carbon films prepared by Filtered Vacuum Arc/d이철승,e신진국,e김종국,e이광렬,e윤기현,  ap. 8-15:b삽도;c26 cm  a이철승, 한국과학기술연구원 미래기술연구본부, 연세대학교 세라믹 공학과bassong@kist.re.kr  a신진국, 전자부품연구원 나노응용기술사업단  a김종국, 한국기계연구소 박막공정그룹  a이광렬, 한국과학기술연구원 미래기술연구본부  a윤기현, 연세대학교 세라믹 공학과  aTa-caFVAa증착법a합성a박막1 a이철승,g李哲承,d1973-0KAC2018545334aut1 a신진국,d1968-0KAC2018544771 a김종국,d1966-0KAC2017375061 a이광렬,g李光烈,d1961-0KAC2017100261 a윤기현0 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g11권 1호(2002년 4월), p. 8-15q1:1<8w(011001)KSE199508370,x1225-882210aLee, Churl Seung10aShin, Jin-Koog10aKim, Jong-Kuk10aLee, Kwang-Ryeol10aYoon, Ki Hyun