01438nam a2200289 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002400093245023200117300003200349545011200381545007800493545007800571545007800649653010200727700001900829700003600848700001400884700004800898773013000946900001801076900001801094900001801112900001801130KSI00016324620040127194258031216s2003    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎ00a진공아크 증착법과 다른 공정에 의해 증착된 MgO 박막 특성 비교=xComparison of characteristics of MgO films deposited by vacuum arc method with other methods/d이은성,e김종국,e이성훈,e이건환  ap. 112-117:b삽도;c26 cm  a이은성, 한국기계연구원(KIMM) 표면연구부 기능박막그룹bE-mail: les9288@kmail.kimm.re.kr  a김종국, 한국기계연구원(KIMM) 표면연구부 기능박막그룹  a이성훈, 한국기계연구원(KIMM) 표면연구부 기능박막그룹  a이건환, 한국기계연구원(KIMM) 표면연구부 기능박막그룹  aMgOa아크 증착법a치밀도a수분 영향aArc depositionaPacking densityaMoisture effect1 a이은성4aut1 a김종국,d1966-0KAC2017375061 a이성훈1 a이건환,g李建煥,d1961-0KAC2018477760 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g12권 2호(2003년 6월), p. 112-117q12:2<112w(011001)KSE199508370,x1225-882210aLee, Eun-Sung10aKim, Jong-Kuk10aLee, Sung-Hun10aLee, Gun-Hwan