01979nam a2200469 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002400093245024900117300003200366545008900398545006200487545006200549545005300611545005300664545004100717545006500758545005600823545004900879653010000928700004101028700001401069700004801083700001401131700001401145700001401159700001401173700001401187700004801201773013101249900001401380900001401394900001501408900001501423900001501438900001401453900001401467900001401481900001401495KSI00016314820040127194256031216s2002    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎ00a실리콘에 도핑된 붕소의 정량분석에 대한 공동분석연구=xRRT study for the quantitative analysis of boron in silicon/d김경중,e김현경,e문대원,e홍태은,e정칠성,e김이경,e김재남,e임철호,e김정호  ap. 218-224:b삽도;c26 cm  a김경중, 한국표준과학연구원 나노표면그룹bE-mail: kjkim@kriss.re.kr  a김현경, 한국표준과학연구원 나노표면그룹  a문대원, 한국표준과학연구원 나노표면그룹  a홍태은, 하이닉스반도체 분석개발팀  a정칠성, 하이닉스반도체 분석개발팀  a김이경, 케이맥 분석지원부  a김재남, 포항산업과학연구원 재료물성분석팀  a임철호, 동부전자주식회사 품질관리팀  a김정호, LG전자기술원 물성연구실  a실리콘a도핑붕소a정량분석a공동분석연구aQuantitative analysisaBoron silicon1 a김경중,d1962-0KAC2018876704aut1 a김현경1 a문대원,g文大元,d1952-0KAC2018436661 a홍태은1 a정칠성1 a김이경1 a김재남1 a임철호1 a김정호,g金正鎬,d1969-0KAC2018463540 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g11권 4호(2002년 12월), p. 218-224q11:4<218w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKim, K.J.10aKim, H.K.10aMoon, D.W.10aHong, T.E.10aJung, C.S.10aKim, L.K.10aKim, J.N.10aLim, C.H.10aKim, J.H.