01185nam a2200217 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003700093245021400130300003200344545008200376545008200458653015600540700005300696700004800749773013100797900002000928900001900948KSI00016276220040209194252031216s2001    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc10(1)-10(4)00a운동에너지를 가지는 알루미늄 덩어리 충돌 및 증착에 관한 분자동력학 연구=xMolecular Dynamics Study of the Energetic Aluminum Cluster Impact and Deposition/d강정원,e황호정  ap. 283-288:b삽도;c26 cm  a강정원, 중앙대학교 전자공학과 반도체 공정·소자 연구실  a황호정, 중앙대학교 전자공학과 반도체 공정·소자 연구실  a운동에너지a알루미늄a덩어리a충돌a증착a분자동력학aMolecularaDynamicsaStudyaEnergeticaAluminumaClusteraImpactaDeposition1 a강정원,g姜正遠,d1973-0KAC2017371864aut1 a황호정,g黃好正,d1946-0KAC2014243580 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g10권 3호(2001년 10월), p. 283-288q10:3<283w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKang, Jeong-Won10aHwnag, Ho-Jung