01810nam a2200397 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003700093245018300130300003200313545008200345545006200427545006200489545006200551545005900613545006200672545006200734653010100796700005300897700004800950700001400998700003601012700004801048700003601096700001401132773013001146900002001276900002101296900002101317900001601338900001801354900002001372900002001392KSI00016256320040126194250031216s2001    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc10(1)-10(4)00a용량형진공계 교정 불확도=xCalibration uncertainty of a capacitance diaphragm gauge/d홍승수,e신용현,e정광화,e임인태,e우삼용,e김정형,e최상철  ap. 173-181:b삽도;c26 cm  a홍승수, 한국표준과학연구원 진공기술센터bsshong@kriss.re.kr  a신용현, 한국표준과학연구원 진공기술센터  a정광화, 한국표준과학연구원 진공기술센터  a임인태, 한국표준과학연구원 진공기술센터  a우삼용, 한국표준과학연구원 물리표준부  a김정형, 한국표준과학연구원 진공기술센터  a최상철, 한국표준과학연구원 진공기술센터  a용량형a진공계a교정a불확도aCalibrationaUncertaintyaCapacitanceaDiaphragmaGauge1 a홍승수,g洪承秀,d1953-0KAC2017357504aut1 a신용현,g申容賢,d1961-0KAC2017250021 a정광화1 a임인태,d1956-0KAC2018K55521 a우삼용,g禹三龍,d1960-0KAC2017119761 a김정형,d1968-0KAC2017435411 a최상철0 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g10권 2호(2001년 7월), p. 173-181q10:2<173w(011001)KSE199508370,x1225-882210aHong, Seung-Soo10aShin, Yong-Hyeon10aChung, Kwang-Hwa10aLim, In-Tae10aWoo, Sam-Yong10aKim, Jung-Hyung10aChoi, Sang-Chul