01742nam a2200421 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003500093245027000128300003200398545005100430545005100481545005300532545005300585545004200638545004200680545003300722545003300755653006900788700001900857700003600876700004800912700004800960700001401008700001401022700002801036700002801064773012901092900001501221900001301236900001301249900001501262900001401277900001501291900001401306KSI00016214020040209194248031216s2000    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc9(1)-9(4)00aPoly S<TEX>$$ i_1-x$$</TEX>G<TEX>$$ e_x$$</TEX> 박막의 산화 거동 연구=xStudy on the oxidation behavior of poly S<TEX>$$ i_1-x$$</TEX>G<TEX>$$ e_x$$</TEX> films/d강성관,e고대홍,e오상호,e박찬경,e이기철,e양두영,e안태항,e주문식  ap. 346-352:b삽도;c26 cm  a강성관, 연세대학교 세라믹 공학과  a고대홍, 연세대학교 세라믹 공학과  a오상호, 포항공과대학교 재료공학부  a박찬경, 포항공과대학교 재료공학부  a이기철, 주성엔지니어링(주)  a양두영, 주성엔지니어링(주)  a안태항, 현대전자(주)  a주문식, 현대전자(주)  aPolyaSiaGea박막a산화a거동aOxidationaBehavioraFilms1 a강성관4aut1 a고대홍,d1961-0KAC2016367221 a오상호,g吳相虎,d1973-0KAC2017359841 a박찬경,g朴贊卿,d1953-0KAC2013292821 a이기철1 a양두영1 a안태항0KAC2020587961 a주문식0KAC2020562860 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g9권 4호(2000년 12월), p. 346-352q9:4<346w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKang, S.K.10aKo, D.H.10aOh, S.H.10aPark, C.K.10aLee, K.C.10aYang, D.Y.10aJoo, M.S.