01503na  a2200325   4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003500093245026500128300003200393545005000425545005000475545005000525545004400575545004400619653013700663700001900800700002800819700003600847700004800883700004800931773012900979900001401108900001401122900001301136900001301149900001501162KSI00016212720040209194248031216s2000    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc9(1)-9(4)00a증착조건 및 열처리조건에 따른 ZrO₂ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구=x(A)study of the microstructures and electrical properties of ZrO₂ thin film on Si(100)/d유정호,e남석우,e고대홍,e오상호,e박찬경  ap. 341-345:b삽도;c26 cm  a유정호, 연세대학교 세라믹공학과  a남석우, 연세대학교 세라믹공학과  a고대홍, 연세대학교 세라믹공학과  a오상호, 포항공대 재료공학과  a박찬경, 포항공대 재료공학과  a증착조건a열처리조건aZrO₂a박막a미세구조a전기a특성aMicrostructuresaElectricalaPropertiesaThinaFilmaSi1 a유정호4aut1 a남석우0KAC2019E67191 a고대홍,d1961-0KAC2016367221 a오상호,g吳相虎,d1973-0KAC2017359841 a박찬경,g朴贊卿,d1953-0KAC2013292820 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g9권 4호(2000년 12월), p. 341-345q9:4<341w(011001)KSE199508370,x1225-882210aYoo, J.H.10aNam, S.W.10aKo, D.H.00aOh, S.H.10aPark, C.G.