01770nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003500093245034500128300003000473545005300503545005300556545007000609545006800679545007000747653022900817700001901046700001401065700004801079700004801127700004801175773012501223900002001348900002001368900002001388900002001408900001601428KSI00016157020040209194245031216s2000    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc9(1)-9(4)00a반응성 r.f. 스퍼터링에 의한 마이크로 박막 전지용 산화바나듐 박막의 제작 및 전기화학적 특성 평가=xFabrication and electrochemical characterization of amorphous vanadium oxide thin films for thin film micro-battery by reactive r.f. sputtering/d전은정,e신영화,e남상철,e윤영수,e조원일  ap. 42-47:b삽도;c26 cm  a전은정, 경원대학교 전기전자공학과  a신영화, 경원대학교 전기전자공학과  a남상철, 한국과학기술연구원 전지, 연료전지센터  a윤영수, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터  a조원일, 한국과학기술연구원 전지, 연료전지센터  a반응성aR.f.a스퍼터링a마이크로a박막a전지용a산화바나듐a박막a전기화학적aMicro-batteryaFabricationaElectrochemicalaCharacterizationaAmorphousaVanadiumaOxideaFilmsaReactiveaSputtering1 a전은정4aut1 a신영화1 a남상철,g南相哲,d1969-0KAC2017532801 a윤영수,g尹榮秀,d1965-0KAC2017384491 a조원일,g曺源一,d1959-0KAC2018463580 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g9권 1호(2000년 3월), p. 42-47q9:1<42w(011001)KSE199508370,x1225-882210aJeon, Eun Jeong10aShin, Young Wha10aNam, Sang Cheol10aYoon, Young Soo10aCho, Won Il