01601nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003500093245022600128300003200354545007800386545007800464545007800542545007800620545007800698653013600776700001900912700001400931700001400945700004800959700004801007773013401055900001701189900001701206900002101223900001701244900001401261KSI00016127420040209194242031216s1999    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc8(1)-8(4)00aGrowth studies of chromium thin films using real-time spectroscopic ellipsometry=x실시간 분광 엘립소미트리를 이용한 크롬 박막의 성장연구/d이용달,e정지용,e방경윤,e오혜근,e안일신  ap. 327-332:b삽도;c26 cm  a이용달, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터  a정지용, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터  a방경윤, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터  a오혜근, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터  a안일신, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터  aGrowthaStudiesaChromiumaFilmsaUsingaRealtimeaSpectroscopicaEllipsometrya실시간분광a엘립소미트리a크롬a박막1 a이용달4aut1 a정지용1 a방경윤1 a오혜근,g吳惠根,d1956-0KAC2016326471 a안일신,g安日新,d1956-0KAC2017084450 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g8권 3(2)호(1999년 8월), p. 327-332q8:3(2)<327w(011001)KSE199508370,x1225-882210aLee, Yongdal10aJung, Jiyong10aBang, Kyoungyoon10aOh, Hyeggeun10aAn, Ilsin