02051nam a2200397 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003500093245035100128300003200479545006900511545006900580545006900649545006900718545006300787545006900850545006900919653023100988700001901219700001401238700001401252700001401266700004801280700001401328700004801342773012801390900001901518900001701537900002001554900002101574900001901595900002001614900001901634KSI00016105920040209194239031216s1999    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc8(1)-8(4)00a동심원형 대칭 전기장 집속방식을 응용한 자가 이온 보조 소스 제작 및 Cu 박막 증착=xDesign of Self-ion assisted beam source (SIAB) based on electron focusing with concentric symmetrical electric field and Cu thin film growth by SIAB/d송재훈,e김기환,e이충만,e최성창,e송종한,e정형진,e최원국  ap. 121-126:b삽도;c26 cm  a송재훈, 한국과학기술연구원, 박막기술연구센터  a김기환, 한국과학기술연구원, 박막기술연구센터  a이충만, 한국과학기술연구원, 박막기술연구센터  a최성창, 한국과학기술연구원, 박막기술연구센터  a송종한, 한국과학기술연구원, 특성분석센터  a정형진, 한국과학기술연구원, 박막기술연구센터  a최원국, 한국과학기술연구원, 박막기술연구센터  a동심원형a대칭a전기장a집속방식a자가a이온a보조a소스aCua박막증착aSelf-ionaDesignaAssistedaBeamaSourceaSIABaBasedaElectronaFocusingaConcentricaSymmetricalaElectricaFieldaFilmaGrowth1 a송재훈4aut1 a김기환1 a이충만1 a최성창1 a송종한,g宋琮漢,d1960-0KAC2016376721 a정형진1 a최원국,g崔源國,d1962-0KAC2017022420 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g8권 2호(1999년 5월), p. 121-126q8:2<121w(011001)KSE199508370,x1225-882210aSong, Jae-Hoon10aKim, Ki-Hwan10aLee, Choong-Man10aChoi, Sung-Chang10aSong, Jong-Han10aJung, Hyung-Jin10aChoi, Won-Kook