01521nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003500093245019200128300003200320545010100352545005600453545005600509545010100565545010100666653008500767700001900852700001400871700001400885700004800899700004800947773012800995900001401123900001401137900001501151900001401166900001501180KSI00016105420040209194239031216s1999    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc8(1)-8(4)00aFe-Ni Invar 합금 박막의 증착 및 박막 특성 평가=xFabrication and characterization of fe-Ni Invar alloy thin films/d김상섭,e고영호,e최장현,e김병일,e박용범  ap. 116-120:b삽도;c26 cm  a김상섭, 순천대학교 재료금속공학과, 자동차 부품 및 소재 연구개발센터  a고영호, 연합철강주식회사 기술연구소  a최장현, 연합철강주식회사 기술연구소  a김병일, 순천대학교 재료금속공학과, 자동차 부품 및 소재 연구개발센터  a박용범, 순천대학교 재료금속공학과, 자동차 부품 및 소재 연구개발센터  aFeaNiaInvara합금박막a증착aFabricationaCharacterizationaAlloyaFilms1 a김상섭4aut1 a고영호1 a최장현1 a김병일,g金炳日,d1953-0KAC2017092591 a박용범,g朴容範,d1959-0KAC2015079490 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g8권 2호(1999년 5월), p. 116-120q8:2<116w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKim, S.S.10aKoh, Y.H.10aChoi, J.H.10aKim, B.I.10aPark, Y.B.