01305nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245016700123300003200290545005000322545005000372545005000422545004400472545005000516653006100566700005300627700002800680700001400708700001400722700001400736773012900750900002100879900001800900900002200918900001800940900002100958KSI00015661920040219194232031215s1997    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc6(1)00aXPS를 이용한 Cu/TiN의 계면에 관한 연구=xInterface characteristics of Cu/TiN system by XPS/d이연승,e임관용,e정용덕,e최범식,e황정남  ap. 314-320:b삽도;c26 cm  a이연승, 전주대학교 전자물리학과  a임관용, 전주대학교 전자물리학과  a정용덕, 전주대학교 전자물리학과  a최범식, 연세대학교 물리학과  a황정남, 전주대학교 전자물리학과  aXPSaCuaTiNa계면aInterfaceaCharacteristicsaSystem1 a이연승,g李延昇,d1963-0KAC2017463414aut1 a임관용0KAC2020667101 a정용덕1 a최범식1 a황정남0 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g6권 4호(1997년 11월), p. 314-320q6:4<314w(011001)KSE199508370,x1225-882210aLee, Youn-Seoung10aLim, Kwanyong10aChung, Young-Duck10aChoi, Bum-Sik10aWhang, Chung-Nam