01307nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245019500123300003200318545004400350545004400394545004400438545004400482545004400526653008700570700001900657700001400676700001400690700004800704700001400752773012800766900001800894900001800912900001700930900001500947900001900962KSI00015650020040219194231031215s1997    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc6(1)00aITO, AZO, SZO 박막의 수소 플라즈마에 대한 안정성=x(The)stability of ITO, AZO and SZO thin films in hydrogen plasma/d임원택,e안유신,e이상기,e안일신,e이창효  ap. 227-234:b삽도;c26 cm  a임원택, 한양대학교 물리학과  a안유신, 한양대학교 물리학과  a이상기, 한양대학교 물리학과  a안일신, 한양대학교 물리학과  a이창효, 한양대학교 물리학과  aITOaAZOaSZOa박막a수소플라즈마aStabilityaThinaFilmsaHydrogen plasma1 a임원택4aut1 a안유신1 a이상기1 a안일신,g安日新,d1956-0KAC2017084451 a이창효0 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g6권 3호(1997년 8월), p. 227-234q6:3<227w(011001)KSE199508370,x1225-882210aLim, Won-taeg10aAhn, You-shin10aLee, Sang-gi10aAn, Il-sin10aLee, Chang-hyo