01382nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245018900123300003200312545005000344545004700394545004700441545005000488545004300538653008400581700001900665700001400684700003600698700004800734700004800782773012800830900001800958900001900976900002100995900002101016900001901037KSI00015641420040219194230031215s1997    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc6(1)00aMo-화합물의 확산방지막으로서의 성질에 관한 연구=xDiffusion barrier properties of Mo compound thin films/d김지형,e이용혁,e권용성,e염근영,e송종한  ap. 143-150:b삽도;c26 cm  a김지형, 성균관대학교 재료공학과  a이용혁, 성균관대학교 물리학과  a권용성, 성균관대학교 물리학과  a염근영, 성균관대학교 재료공학과  a송종한, 한국과학기술연구원  aMo-화합물a확산방지막aDiffusionaBarrieraPropertiesaMo-compound thin1 a김지형4aut1 a이용혁1 a권용성,d1959-0KAC2012106401 a염근영,g廉根永,d1958-0KAC2017000681 a송종한,g宋琮漢,d1960-0KAC2016376720 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g6권 2호(1997년 5월), p. 143-150q6:2<143w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKim, Ji-Hyung10aLee, Yong-Hyuk10aKwon, Yong-Seung10aYeom, Geun-Young10aSong, Jong-Han