00998nam a2200217 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245022600123300003200349545004700381545004700428653009300475700001900568700003600587773012900623900001400752900001400766KSI00015621520040219194228031215s1996    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc5(1)00aRF 마그네트론 스퍼터링에 의해 저온 증착한 SrTiO₃박막의 전기적 특성=xElectrical properties of SrTiO₃ thin films deposited at low temperatures by RF magnetron sputtering/d김동식,e이재신  ap. 359-364:b삽도;c26 cm  a김동식, 울산대학교 재료공학과  a이재신, 울산대학교 재료공학과  aRF마그네트론a스퍼터링aSrTiO₃박막aLow temperaturesaMagnetronaSputtering1 a김동식4aut1 a이재신,d1961-0KAC2018477540 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g5권 4호(1996년 12월), p. 359-364q5:4<359w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKim, D.S.10aLee, J.S.