01465nam a2200361 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245017700123300003000300545004700330545004700377545004700424545004300471545004300514545004100557653006100598700004100659700001400700700001400714700003600728700004800764700004800812773012500860900002000985900001901005900002301024900002001047900001801067900001801085KSI00015598420040219194225031215s1996    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc5(1)00aMOCVD법에 의해 성장시킨 PZT박막의 XPS 분석=xXPS Analysis of PZT film prepared by MOCVD/d김영관,e추정우,e손병청,e황찬용,e김태송,e오영희  ap. 93-98:b삽도;c26 cm  a김영관, 홍익대학교 화학공학과  a추정우, 홍익대학교 화학공학과  a손병청, 홍익대학교 화학공학과  a황찬용, 한국표준과학연구원  a김태송, 한국과학기술연구원  a오영희, 동의대학교 화학과  aMOCVD법a성장aPZT박막aXPS AnalysisaFilm prepared1 a김영관,d1957-0KAC2018167494aut1 a추정우1 a손병청1 a황찬용,d1963-0KAC2017139071 a김태송,g金泰松,d1959-0KAC2016366171 a오영희,g吳榮姬,d1956-0KAC2018235560 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g5권 2호(1996년 6월), p. 93-98q5:2<93w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKim, Young Kwan10aChoo, Jung Woo10aSohn, Byoung Chung10aHwang, Chanyong10aKim, Tae Song10aOh, Young Hee