01665nam a2200397 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245022200123300003200345545004400377545004400421545004700465545006200512545006200574545003700636545004400673653007600717700004100793700001400834700003600848700004800884700004800932700001400980700001400994773012801008900001801136900002101154900002001175900001701195900001901212900002001231900001601251KSI00015578020040219194223031215s1995    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc4(1)00a고상 에피택셜 성장에 의한 PtSi 박막의 형성=x(The)formation of epitaxial ptsi films on si(100) by solid phase epitaxy/d최치규,e강민성,e이개명,e김상기,e서경수,e이정용,e김건호  ap. 319-326:b삽도;c26 cm  a최치규, 제주대학교 물리학과  a강민성, 제주대학교 물리학과  a이개명, 제주대학교 전기공학과  a김상기, 한국전자통신연구소 반도체연구단  a서경수, 한국전자통신연구소 반도체연구단  a이정용, 한국과학기술원  a김건호, 경상대학교 물리학과  a고상 에피택셜aPtSi 박막aEpitaxialaPtSi filmsaPhaseaEpitaxy1 a최치규,d1947-0KAC2017079644aut1 a강민성1 a이개명,d1961-0KAC2017004471 a김상기,g金相基,d1957-0KAC2018453501 a서경수,g徐景壽,d1953-0KAC2018442931 a이정용1 a김건호0 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g4권 3호(1995년 9월), p. 319-326q4:3<319w(011001)KSE199508370,x1225-882210aChoi, Chi Kyu10aKang, Min Seoung10aLee, Kae Myoung10aKim, Sang Gi10aSuh, Kyung Soo10aLee, Jeong Yong10aKim, Kun Ho