01683nam a2200397 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245025300123300003200376545004700408545004700455545004700502545004700549545004300596545004300639545004700682653009900729700001900828700001400847700001400861700004800875700003600923700004800959700004801007773012801055900001401183900001601197900001401213900001501227900001401242900001501256900001401271KSI00015572720040219194222031215s1995    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc4(1)00ain-line XPS와 AFM을 이용한 유기물의 UV/ozone 건식세정과정 연구=xUV/ozone cleaning processes for organic films on si studied by in-line XPS and AFM/d이경우,e황병철,e손동수,e천희곤,e김경중,e문대원,e안강호  ap. 261-269:b삽도;c26 cm  a이경우, 울산대학교 재료공학과  a황병철, 울산대학교 재료공학과  a손동수, 울산대학교 재료공학과  a천희곤, 울산대학교 재료공학과  a김경중, 한국표준과학연구원  a문대원, 한국표준과학연구원  a안강호, 한양대학교 기계공학과  aIn-lineaXPS/AFMa유기물aUV/Ozonea건식세정과정aCleaningaProcessesaOrganicaFilms1 a이경우4aut1 a황병철1 a손동수1 a천희곤,g千熙坤,d1953-0KAC2013258201 a김경중,d1962-0KAC2018876701 a문대원,g文大元,d1952-0KAC2018436661 a안강호,g安康鎬,d1958-0KAC2016107930 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g4권 3호(1995년 9월), p. 261-269q4:3<261w(011001)KSE199508370,x1225-882210aLee, K.W.10aHwang, B.C.10aSon, D.S.10aChun, H.G.10aKim, K.J.10aMoon, D.W.10aAhn, K.H.