01610nam a2200361 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245024400123300003200367545006200399545006200461545006200523545006200585545004400647545005000691653011400741700001900855700004800874700004800922700001400970700003600984700001401020773012801034900001201162900001501174900001501189900001601204900001401220900001401234KSI00015571220040219194222031215s1995 ulka 000 kor  a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc4(1)00a고진공, 초고진공, 대기 환경에서의 STS 표면의 오염 정량화=x(The)quantitative analysis of STS contamination under the condition of HV, UHV and air/d서지근,e신용현,e홍승수,e정광화,e이상길,e이규장 ap. 238-246:b삽도;c26 cm a서진근, 한국표준과학연구원 압력진공구룹 a신용현, 한국표준과학연구원 압력진공구룹 a홍승수, 한국표준과학연구원 압력진공구룹 a정광화, 한국표준과학연구원 압력진공구룹 a이상길, 삼성전자 분석기술실 a이규장, 한국과학기술원 물리학과 a고진공a초고진공a대기환경aSTS 표면a오염 정량화aQuantitative analysisaSTS Contamination1 a서지근4aut1 a신용현,g申容賢,d1961-0KAC2017250021 a홍승수,g洪承秀,d1953-0KAC2017357501 a정광화1 a이상길,d1962-0KAC2018554231 a이규장0 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g4권 3호(1995년 9월), p. 238-246q4:3<238w(011001)KSE199508370,x1225-882210aSeo, J.10aShin, Y.H.10aHong, S.S.10aChung, K.H.10aLee, S.K.10aLee, K.J.