01477nam a2200361 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245022200123300003200345545004400377545004400421545004400465545004400509545004400553545004400597653010600641700001900747700001400766700001400780700001400794700004800808700004800856773012800904900001501032900001501047900001401062900001201076900001401088900001301102KSI00015509520040219194217031215s1994    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc3(1)00a스퍼터링 챔버에 설치한 in-situ 타원해석기의 성능평가=xEvaluation of the in-situ ellipsometer mounted on a sputtering chamber/d박광범,e신용환,e구교근,e이순일,e김상열,e오수기  ap. 166-172:b삽도;c26 cm  a박광범, 아주대학교 물리학과  a신용환, 아주대학교 물리학과  a구교근, 아주대학교 물리학과  a이순일, 아주대학교 물리학과  a김상열, 아주대학교 물리학과  a오수기, 아주대학교 물리학과  aIn-situa스퍼터링 챔버a타원해석기a성능평가aEllipsometer mountedaSputtering chamber1 a박광범4aut1 a신용환1 a구교근1 a이순일1 a김상열,g金尙烈,d1954-0KAC2018047401 a오수기,g吳壽基,d1951-0KAC2017278230 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g3권 2호(1994년 5월), p. 166-172q3:2<166w(011001)KSE199508370,x1225-882210aPark, K.B.10aShin, Y.H.10aKoo, K.K.10aLee, S.10aKim, S.Y.10aOh, S.G.