01387nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245019800123300003200321545004700353545004700400545004700447545004400494545004700538653011300585700001400698700005300712700001400765700004800779700001400827773012800841900001800969900001800987900001801005900001901023900001901042KSI00015438520040207194212031215s1992    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc1(3)00a텅스텐 폴리사이드 게이트 구조에서의 열처리 효과=xEffect of heat treatments on tungsten polycide gate structures/d고재석,e천희곤,e조동율,e구경완,e홍봉식  ap. 376-381:b삽도;c26 cm  a고재석, 울산대학교 재료공학과  a천희곤, 울산대학교 재료공학과  a조동율, 울산대학교 재료공학과  a구경완, 충청전문대학 전자과  a홍봉식, 충남대학교 전자공학과  a텅스텐a폴리사이드a게이트구조a열처리aHeat treatmentsaTungstenaPolycideaGate structures1 a고재석1 a천희곤,g千熙坤,d1953-0KAC2013258204aut1 a조동율1 a구경완,g丘庚完,d1961-0KAC2016371531 a홍봉식0 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g1권 3호(1992년 9월), p. 376-381q1:3<376w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKoh, Jae-Seog10aChun, Hui-Gon10aCho, Tong-Yul10aKoo, Kyung-Wan10aHong, Bong-Sik