01183nam a2200265 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002600093245015600119300003200275545007000307545006300377545005700440653009000497700005300587700003600640700004800676773012500724856001500849900001900864900001400883900002000897KSI00008855420040118180012031126s1992    tgka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.05b경181ㅈc1300a단결정 실리콘 microactuator 구조의 제작=xFabrication of single-crystal silicon microactuator structures/d조찬섭,e류인식,e신장규  ap. 165-174:b삽도;c26 cm  a조찬섭, 경북대학교 대학원 전자공학과 박사과정  a류인식, 경동전문대학 전자계산과 전임강사  a신장규, 경북대학교 전자공학과 조교수  a단결정a실리콘aMicroactuatoraFabricationaSingle-crystalaSiliconaStructures1 a조찬섭,g曺贊燮,d1965-0KAC2016333804aut1 a유인식,d1954-0KAC2017008481 a신장규,g辛長奎,d1956-0KAC2016304860 t電子技術硏究誌.d慶北大學校 出版部.g13권(1992년), p. 165-174q13<165w(011001)KSE199504020,x1225-214X40u3283216aK10aCho, Chan-Seob10a류인식10aShin, Jang-Kyoo