01180nam a2200301 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002300093245019100116300003000307545004100337545003800378545004100416545003800457653007300495700001400568700001400582700004800596700001400644773012600658856002000784900001900804900001800823900001900841900001800860KSI00003597620040107165850031031s1990    jjka          000   kor    a0110010 akorbeng01a405b제577ㄴc3000aRTA 방법에 의한 Ti-실리사이드 형성과 그 특성=xFormation and characteristics of Ti-silicide by the rapid thermal annealing/d崔致圭,e洪性樂,e高正大,e李光萬  ap. 53-66:b삽도;c26 cm  a최치규, 자연대학교 부교수  a홍성락, 자연대학교 교수  a고정대, 자연대학교 조교수  a이광만, 공과대학 조교수  aTi-실리사이드aRTA 방법aTi-silicideaRapid thermal annealing1 a홍성락1 a최치규1 a이광만,g李光萬,d1956-0KAC2018232891 a고정대0 t논문집-제주대학교. 자연과학편.d濟州大學校.g30집(1990년 6월), p. 53-66q30<53w(011001)KSE19950247940u2049417aKd00210aHong, Sung-rak10aChoi, Chi-kyu10aLee, Kwang-man10aKo, Jeong-dae