01644na  a2200361   4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002800093245018200121300003200303545007700335545007700412545007700489545007700566545006700643545005800710653007000768700005300838700001400891700001400905700001400919700004800933700004800981773014101029900001801170900002001188900002001208900001801228900001701246900001901263KSI00016392720040212184036031216s1992    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.05b대483c29(1.1)00aSIS CV 해석에 의한 SOI 구조의 특성평가=xCharacterization of SOI structure by SIS CV analysis/d裵泳鎬,e權英規,e鄭旭珍,e金光一,e金氾晩,e李鍾玄  ap. 118-124:b삽도;c26 cm  a배영호, 정회원, 산업과학기술연구소 반도체 연구분야  a권영규, 정회원, 산업과학기술연구소 반도체 연구분야  a정욱진, 정회원, 산업과학기술연구소 반도체 연구분야  a김광일, 정회원, 산업과학기술연구소 반도체 연구분야  a김범만, 정회원, 포항공과대학 전자전기공학과  a이종현, 정회원, 경북대학교 전자공학과  aSISaCVaSOIa특성평가aCharacterizationaStructureaAnalysis1 a배영호,g裵泳鎬,d1961-0KAC2018L87234aut1 a권영규1 a정욱진1 a김광일1 a김범만,g金氾晩,d1947-0KAC2017051251 a이종현,g李鍾玄,d1949-0KAC2018164640 t電子工學會論文誌.A.d大韓電子工學會.g29卷 12號(1992년 12월), p. 118-124q29:12<118w(011001)KSE199508730,x1016-135X10aBae, Young Ho10aKwon, Young Kyu10aChung, Wook Jin10aKim, Kwang Il10aKim, Bum Man10aLee, Jong Hyun