01627na  a2200361   4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002800093245019800121300003000319545006700349545006700416545006700483545006700550545005800617545005800675653009400733700005300827700001400880700001400894700001400908700004800922700004800970773013501018900001801153900001901171900001801190900002001208900001901228900001801247KSI00015719120040212183903031215s1991    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.05b대483c28(1.7)00a열처리조건에 따른 SIMOX SOI의 특성=x(The)effects of annealing conditions on the character istics of SIMOX SOI/d裵泳鎬,e權英規,e金光一,e鄭旭珍,e曺贊燮,e李鍾玄  ap. 54-61:b삽도;c26 cm  a배영호, 정회원, 산업과학기술연구소 정보전자  a권영규, 정회원, 산업과학기술연구소 정보전자  a김광일, 정회원, 산업과학기술연구소 정보전자  a정욱진, 정회원, 산업과학기술연구소 정보전자  a조찬섭, 정회원, 경북대학교 전자공학과  a이종현, 정회원, 경북대학교 전자공학과  a열처리a열처리조건aSimoxaSoiaEffectsaAnnealingaConditionsaCharacteraIstics1 a배영호,g裵泳鎬,d1961-0KAC2018L87234aut1 a권영규1 a김광일1 a정욱진1 a조찬섭,g曺贊燮,d1965-0KAC2016333801 a이종현,g李鍾玄,d1949-0KAC2018164640 t電子工學會論文誌.A.d大韓電子工學會.g28卷 8號(1991년 8월), p. 54-61q28:8<54w(011001)KSE199508730,x1016-135X10aBae, Young Ho10aKwon, Yong Kyu10aKim, Kwang Il10aChung, Wook Jin10aLee, Jong Hyun10aCho, Chan sub