01351nam a2200301 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002500093245018400118300003200302545004700334545004700381545004100428545004100469653013200510700001400642700001400656700004800670700005300718773018500771856002000956900001700976900001900993900001801012900001901030KSI00014663120040214185718031211s1998    ggka          000   kor    a0110010 akorbeng01a505b제577ㅅc9(1)00a실리콘 미세가공 기술을 이용한 마이크로 진공 센서=xMicro-vacuum sensor using silicon micromachining techniques/d이광만,e고성택,e김영민,e고희선  ap. 121-127:b삽도;c26 cm  a이광만, 제주대학교 전자공학과  a고성택, 제주대학교 전자공학과  a김영민, 제주대학교 대학원  a고희선, 제주대학교 대학원  aMicro-vacuum sensoraMicromachining techniquesaPlatinum thin filma실리콘a미세가공a기술a마이크로a진공센서1 a고희선1 a김영민1 a고성택,g高誠澤,d1955-0KAC2018463171 a이광만,g李光萬,d1956-0KAC2018232894aut0 t産業技術硏究所論文集-제주대학교 산업기술연구소.d濟州大學校 産業技術硏究所.g제9권 1호(1998년 6월), p. 121-127q9:1<121w(011001)KSE19960101740u2039170aKd00210aKo, Hee-Seon10aKim, Young-Min10aKo, Sung-Taek10aLee, Kwang-Man