01379nam a2200289 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003300093245020100126300003200327545007800359545004100437545002800478545004700506653018400553700005300737700004800790700001400838700001400852773015500866900001601021900001701037900001701054900001801071KSI00005396920040222140102031010s1998    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.205b한597ㅈㄱc11(7)00a원통형 매크로기공을 갖는 다공질 실리콘과 다이어프램의 제작=xFabrication of cylindrical macroporous silicon and diaphragms/d민남기,e이치우,e하동식,e정우식  ap. 620-627:b삽도;c26 cm  a민남기, 고려대학교 제어계측공학과bnkmin@tiger.korea.ac.kr  a이치우, 고려대학교 화학과  a하동식, 현대전자  a정우식, 고려대학교 전자공학과  a실리콘a다이어프램a다공질 실리콘a다공질 실리콘 다이어프램a매크로 다공질 실리콘aPorous siliconaPorous silicon diaphragmsaMacroporous silicon1 a민남기,g閔南基,d1950-0KAC2018192234aut1 a이치우,g李致雨,d1954-0KAC2018055591 a하동식1 a정우식0 t전기전자재료학회논문지.d한국전기전자재료학회.gVol.11 no.8(1998년 8월), p. 620-627q11:8<620w(011001)KSE199800338,x1226-794510aMin, Nam-Ki10aLee, Chi-Woo10aHa, Dong-Sik10aJeong Woo-Sik