01746nam a2200361 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003900093245029200132300003200424545008000456545005900536545005900595545005300654545005300707545005000760653014500810700001900955700004800974700003601022700001401058700001401072700003601086773015501122900001801277900001501295900001401310900002001324900002001344900002001364KSI00005430720040206083311031010s2000    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.205b한597ㅈㄱc13(5)-13(8)00aNd:YAG Laser를 이용한 자성금속막의 패턴 식각에 있어서 에너지 흡수층이 미치는 영향=x(The)effect of energy-absorbing layers on micro-patterning of magnetic metal films using Nd:YAG laser/d이주현,e송재성,e민복기,e서영준,e채상훈,e안승준  ap. 538-544:b삽도;c26 cm  a이주현, 선문대학교 재료화학공학부bleejh@omega.sunmoon.ac.kr  a송재성, 한국전기연구소 전기재료연구부  a민복기, 한국전기연구소 전기재료연구부  a서영준, 선문대학교 재료화학공학부  a채상훈, 선문대학교 재료화학공학부  a안승준, 선문대학교 신소재과학과  a자성금속막a에너지aEnergy-absorbing layera에너지 흡수층aLaseraMicro-patterningaPolymeraThemal conductivityaNd:YAG laser1 a이주현4aut1 a송재성,g宋在成,d1956-0KAC2016376211 a민복기,d1959-0KAC2018438141 a서영준1 a채상훈1 a안승준,d1957-0KAC2018174100 t전기전자재료학회논문지.d한국전기전자재료학회.gVol.13 no.6(2000년 6월), p. 538-544q13:6<538w(011001)KSE199800338,x1226-794510aLee, Ju-Hyeon10aSong, J.S.10aMin, B.K.10aSeo, Young-Joon10aChae, Sang-Hoon10aAhn, Seung Joon