01536naa a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003900093245024400132300003200376545007300408545004400481545004100525545004700566545004700613653018900660700005300849700001400902700001400916700001400930700001400944773015500958900001801113900001901131900001801150900002101168900002101189 KSI000054280 20040114083308 031010s2000 ulka 000 kor a011001 0 akor beng 01 a569.205 b한597ㅈㄱ c13(1)-13(4) 00 aMCS-BE에 의한 S$$F_6$$+He 혼합기체의 전자수송특성 해석= xAnalysis of electron transport properties in S$$F_6$$+He mixtures gas used by MCS-BE/ d하성철, e유회영, e김상남, e송병두, e백승권 ap. 359-364: b삽도; c26 cm a하성철, 동국대학교 전기공학과 bscha@cakra.dongguk.ac.kr a유회영, 대림대학 정보통신과 a김상남, 인천전문대 전기과 a송병두, 동국대학교 전기공학과 a백승권, 인제대학교 전자공학과 a혼합기체 a전자수송 a몬테칼로 시뮬레이션 a볼츠만 방정식 a전자에너지 분포함수 aMCS aBeq aElectron energy distribution function aSST aSteady state townsend 1 a하성철, g河聖哲, d1940- 0KAC201702654 4aut 1 a유회영 1 a김상남 1 a송병두 1 a백승권 0 t전기전자재료학회논문지. d한국전기전자재료학회. gVol.13 no.4(2000년 4월), p. 359-364 q13:4<359 w(011001)KSE199800338, x1226-7945 10 aHa, Sung-Chul 10 aYu, Heoi-Young 10 aKim, Sang-Nam 10 aSong, Byoung-Doo 10 aBaek, Seung-Kwun