01797na  a2200361   4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052004100093245026300134300003200397545008700429545005000516545005300566545005300619545005300672545005800725653016300783700001900946700004800965700003601013700004801049700001401097700005201111773015801163900001901321900001701340900001801357900002101375900001901396900002001415KSI00005418120040114083254031010s1999    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.205b한597ㅈㄱc12(10)-12(12)00aPLD법으로 제작된 (Ba, Sr)TiO₃박막의 구조 및 유전특성에 관한 연구=x(A)study on structural and dielectric properties of the (Ba, Sr)TiO₃thin films prepared by PLD/d김성구,e마석범,e장낙원,e박정흠,e박종우,e박창엽  ap. 903-908:b삽도;c26 cm  a김성구, 연세대학교 전기·컴퓨터공학과bsgkim97@bubble.yonsei.ac.kr  a마석범, 용인송담대학 전기설비과  a장낙원, 삼성전자 반도체연구소 TD팀  a박정흠, 삼성전자 반도체연구소 TD팀  a박종우, 삼성전자 반도체연구소 TD팀  a박창엽, 연세대학교 전기·컴퓨터공학과  a박막a유전특성aBST박막aPLD법a기판온도a후열처리시간aBST thin filmsaPulsed laser depositionaSubstrate temperatureaPost-annealing time1 a김성구4aut1 a마석범,g馬碩範,d1962-0KAC2017212491 a장낙원,d1967-0KAC2017069811 a박정흠,g朴正欽,d1967-0KAC2018315821 a박종우1 a박창엽,g朴昌燁,d1935-20230KAC2013074120 t전기전자재료학회논문지.d한국전기전자재료학회.gVol.12 no.10(1999년 10월), p. 903-908q12:10<903w(011001)KSE199800338,x1226-794510aKim, Seong-Goo10aMah, Suk-Bum10aJang, Nak-Won10aPark, Jeong-Heum10aPark, Jong-Woo10aPark, Chang-Yub