01783nam a2200361 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003300093245029700126300003200423545007600455545005400531545005400585545005000639545005400689545005400743653023100797700001901028700001401047700001401061700004801075700001401123700001401137773015801151900002001309900001801329900002001347900001701367900001701384900002001401KSI00005399820040114083229031010s1998    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.205b한597ㅈㄱc11(7)00a마이크로웨이브 플라즈마 화학기상성장법에 의한 다이아몬드 박막의 합성에 관한 연구=x(A)study on the diamond thin films synthesized by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition/d이병수,e이상희,e박상현,e유도현,e이백수,e이덕출  ap. 809-814:b삽도;c26 cm  a이병수, 인하대학교 공대 전기공학과bleebsoo@hanimail.com  a이상희, 인하대학교 공대 전기공학과  a박상현, 경남대학교 공대 전기공학과  a유도현 ,안산공업전문대학 전기과  a이백수, 인하대학교 공대 전기공학과  a이덕출, 인하대학교 공대 전기공학과  a마이크로웨이브a다이아몬드박막a마이크로웨이브 플라즈마 화학기상성장법a표면형상a결정성aDiamond thin filmsaMicrowave plasma enhanced chemical vapor depositionaMorpholgyaCrystallinity1 a이병수4aut1 a이상희1 a박상현1 a유도현,g柳道鉉,d1965-0KAC2017220731 a이백수1 a이덕출0 t전기전자재료학회논문지.d한국전기전자재료학회.gVol.11 no.10(1998년 10월), p. 809-814q11:10<809w(011001)KSE199800338,x1226-794510aLee, Byoung-Soo10aLee, Sang-Hee10aPark, Sang-Hyun10aYou, Do-Hyun10aLee, Beak-Su10aLee, Duck-Chool