01140nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003100080245018700111300003000298545005300328545005300381545005300434653008300487700001900570700004800589700004800637773012400685856002000809900001900829900001900848900001900867KSI00001920920031021120152031013s1997    ulka          000   kor    a01100101a530.9505b대465ㅅc10(1)00a반도체 제조업에서 사용되는 수율 모델의 비교 및 이용=x(The)comparison and use of yield models in semiconductor manufacturing/d박광수,e전치혁,e김수영  ap. 79-93:b삽도;c29 cm  a박광수, 포항공과대학교 산업공학과  a전치혁, 포항공과대학교 산업공학과  a김수영, 포항공과대학교 산업공학과  a반도체a제조업a수율모델aYield modelsaSemiconductoraManufacturing1 a박광수4aut1 a전치혁,g全治赫,d1954-0KAC2017014301 a김수영,g金樹永,d1956-0KAC2018242610 t産業工學.d대한산업공학회.g第10卷 1號(1997년 3월), p. 79-93q10:1<79w(011001)KSE199508517,x1225-099640uT00000089160ad10aPark, Kwang-Su10aJun, Chi-Hyuck10aKim, Soo-Young